晶盛机电近日在(zai)接受调研时表示，近日，子公(gong)司浙江晶盛光子科技有限公(gong)司自(zi)主研发的电池片设备成功(gong)出口海外客户。此次晶盛光子出口海外的产品包(bao)括PECVD、LPCVD和(he)管式低压磷扩散炉三款最新设备。其中，PECVD设备独特的细丝(si)炉体设计(ji)，使效率分(fen)布更加收敛(lian)；LPCVD设备腔内热场(chang)分(fen)布更加均匀，Poly-Si沉积(ji)膜厚均匀性超业内水平；管式低压磷扩散炉创新应用了法兰独立水冷等设计(ji)，进一步改善了热管理(li)和(he)气流控制能力。这三款电池片设备此次出口海外，将在(zai)很大程(cheng)度推动高效电池技术扩产。